Michel Oliveira da Silva Dantas

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  • Última atualização do currículo em 11/07/2018


Possui graduação em Materiais Processos e Componentes Eletrônicos pela Faculdade de Tecnologia de São Paulo (2000), mestrado e doutorado em Engenharia Elétrica pela Universidade de São Paulo (2003 e 2008 respectivamente). Atualmente é professor adjunto da Universidade Federal do ABC. Tem experiência na área de Engenharia Elétrica, com ênfase em Materiais e Componentes Semicondutores, atuando principalmente nos seguintes temas: MEMS, desenvolvimento de sensores baseados em dispositivos emissores de elétrons por efeito de campo elétrico (FE - Field emission devices) e nanotubos de carbono. (Texto informado pelo autor)


Identificação


Nome
Michel Oliveira da Silva Dantas
Nome em citações bibliográficas
DANTAS, M. O. S.;Dantas, Michel O. S.;DANTAS, MICHEL O.S.

Endereço


Endereço Profissional
Universidade Federal do ABC, Centro de Engenharia, Modelagem e Ciências Sociais Aplicadas.
Rua Santa Adélia, 166, 6 andar, Torre 1, sala 714-1
Bangú
09210170 - Santo André, SP - Brasil
Telefone: (11) 49968262
URL da Homepage: http://www.ufabc.edu.br


Formação acadêmica/titulação


2003 - 2008
Doutorado em Engenharia Elétrica.
Universidade de São Paulo, USP, Brasil.
Título: Desenvolvimento de dispositivos de emissão por efeito de campo elétrico fabricados pela técnica HI-PS, Ano de obtenção: 2008.
Orientador: Elisabete Galeazzo.
Bolsista do(a): Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico, CNPq, Brasil.
Palavras-chave: silício poroso; microestruturas; implantação de hidrogênio; sensores; dispositivos de emissão de campo (FE).
Grande área: Engenharias
Grande Área: Engenharias / Área: Engenharia Elétrica / Subárea: Microeletrônica / Especialidade: Sensores.
Grande Área: Engenharias / Área: Engenharia Elétrica / Subárea: Materiais Elétricos / Especialidade: Materiais e Componentes Semicondutores.
Setores de atividade: Industria Eletro-Eletrônica; Desenvolvimento de Novos Materiais.
2001 - 2003
Mestrado em Engenharia Elétrica.
Universidade de São Paulo, USP, Brasil.
Título: Obtenção de microestruturas de Si utilizando a tecnologia do silício poroso como camada sacrificial,Ano de Obtenção: 2003.
Orientador: Elisabete Galeazzo.
Bolsista do(a): Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior, CAPES, Brasil.
Palavras-chave: microestruturas; silício poroso; camada sacrificial; implantação de hidrogênio.
Grande área: Engenharias
Setores de atividade: Desenvolvimento de Novos Materiais; Industria Eletro-Eletrônica.
1998 - 2000
Graduação em Materiais Processos e Componentes Eletrônicos.
Faculdade de Tecnologia de São Paulo, FATEC, Brasil.




Atuação Profissional



Universidade Federal do ABC, UFABC, Brasil.
Vínculo institucional

2009 - Atual
Vínculo: Servidor Público, Enquadramento Funcional: Professor Adjunto IV, Carga horária: 40, Regime: Dedicação exclusiva.

Atividades

01/2012 - Atual
Ensino, Engenharia Elétrica, Nível: Pós-Graduação

Disciplinas ministradas
Sensores e dispositivos de comunicação sem fio
08/2011 - Atual
Conselhos, Comissões e Consultoria, Centro de Engenharia, Modelagem e Ciências Sociais Aplicadas, Engenharia de Instrumentação, Automação e Robótica.

Cargo ou função
Membro do colegiado do curso.
02/2009 - Atual
Ensino, Engenharia de Instrumentação, Automação e Robótica, Nível: Graduação

Disciplinas ministradas
Base Experimental das Ciências Naturais
Circuitos Elétricos e Fotônica
Instrumentação & Controle
Métodos Experimentais em Engenharia
Projeto de Microdispositivos para Instrumentação (Coordenador)
Sensores e Transdutores (Coordenador)
Trabalho de Graduação (Coordenador)
08/2011 - 03/2013
Conselhos, Comissões e Consultoria, Centro de Engenharia, Modelagem e Ciências Sociais Aplicadas, .

Cargo ou função
Membro do Conselho Universitário da UFABC.

Universidade de São Paulo, USP, Brasil.
Vínculo institucional

2005 - 2005
Vínculo: Auxiliar docente, Enquadramento Funcional: Auxiliar docente (programa PAE), Carga horária: 12

Vínculo institucional

2002 - 2002
Vínculo: Auxiliar docente, Enquadramento Funcional: auxiliar docente (programa PAE), Carga horária: 12

Vínculo institucional

1999 - 2000
Vínculo: Estágiário, Enquadramento Funcional: estagiário, Carga horária: 15
Outras informações
Estágio de iniciação científica, Laboratório de Microeletrônica

Atividades

2/2005 - 7/2005
Ensino, Engenharia Eletrica, Nível: Graduação

Disciplinas ministradas
práticas de eletrônica e eletricidade 1
2/2002 - 7/2002
Ensino, Engenharia Eletrica, Nível: Graduação

Disciplinas ministradas
praticas de eletronica e eletricidade 1
9/1999 - 12/2000
Estágios , Escola Politécnica, .

Estágio realizado
iniciação científica.


Projetos de pesquisa


2014 - 2016
Sistema de caracterização elétrica de dispositivos de emissão de elétrons em tempo real

Projeto certificado pelo(a) coordenador(a) Francisco Javier Ramirez Fernandez em 15/07/2015.
Descrição: Neste projeto é proposto um novo sistema de caracterização de dispositivos de emissão de campo (FE Field Emission devices) com objetivo de determinar a intensidade de emissão de elétrons por campo elétrico e obter um mapeamento da corrente ao longo da área ativa dos dispositivos (com configuração catodo-anodo) em tempo real durante os experimentos..
Situação: Concluído; Natureza: Pesquisa.
Alunos envolvidos: Mestrado acadêmico: (1) Doutorado: (1) .
Integrantes: Michel Oliveira da Silva Dantas - Integrante / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Coordenador / Peres, Henrique E. M. - Integrante / Kopelvski, Maycon M. - Integrante / Elisabete Galeazzo - Integrante / Mauricio Oscar Perez Lisboa - Integrante.Financiador(es): Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico - Auxílio financeiro.
2014 - Atual
DESENVOLVIMENTO DE SENSORES DE GASES MINIATURIZADOS BASEADOS EM NANOTUBOS DE CARBONO
Descrição: Esta proposta de pesquisa tem como objetivo desenvolver sensores de gases compactos compostos por materiais nanoestruturados a partir de métodos de fabricação de baixa complexidade. Com este enfoque, pretende-se explorar a utilização de nanotubos de carbono (CNT ? Carbon Nanotubes) em sensores compostos por eletrodos planares e tridimensionais miniaturizados, obtidos por técnicas compatíveis com as de fabricação da microeletrônica. Para alcançar esta meta, serão investigados métodos eficazes para a deposição de CNT sobre dispositivos pré-fabricados por meio de técnicas eletroquímicas (eletroforese e dieletroforese), que apresentam grande eficácia com baixo custo. Para fabricação dos sensores, os CNT serão depositados sobre dois tipos de eletrodos: planares, compostos por trilhas metálicas fotolitografadas sobre substratos isolantes e ou semicondutores oxidados, e tridimensionais, compostos por matrizes de pontas de Si microusinadas por uma técnica chamada HI-PS, desenvolvida pelo proponente e colaboradores deste projeto [1]. Serão efetuadas caracterizações elétricas em ambiente contendo gases específicos à pressão ambiente (eletrodos planares) e à pressão de vácuo (eletrodos tridimensionais). No primeiro caso, a capacidade de detecção de espécies gasosas será avaliada através de parâmetros como impedância ou condutividade dos sensores; no segundo, pretende-se explorar o uso dos dispositivos tridimensionais como fontes de ionização miniaturizadas para o desenvolvimento de sensores que operem pelo princípio de emissão de elétrons por efeito de campo elétrico, cujos resultados preliminares obtidos pelo proponente deste projeto se mostraram altamente promissores para a aplicação almejada [2]. Para melhorar a seletividade de detecção de gases nos dispositivos, será estudada ainda a decoração da estrutura dos CNT com nanopartículas metálicas, tópico de pesquisa de alta relevância para o desenvolvimento de sensores de gases específicos [3, 4]. Os resultados almejados com esta proposta serão de grande utilidade para diversas áreas industriais e de pesquisa que necessitem utilizar sensores miniaturizados para detecção gasosa. Em termos acadêmicos, o projeto viabilizará a obtenção de infraestrutura e material adequado tanto para o desenvolvimento destes sensores, como para manipulação e uso de materiais nanoestruturados por técnicas de baixa complexidade e custo. Também possibilitará a formação de recursos humanos na área de desenvolvimento de sensores, como também propiciará ao proponente experiência em coordenação de projetos de pesquisa..
Situação: Em andamento; Natureza: Pesquisa.
Alunos envolvidos: Graduação: (2) / Mestrado acadêmico: (1) .
Integrantes: Michel Oliveira da Silva Dantas - Coordenador / Elisabete Galeazzo - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Débora Ariana Corrêa da Silva - Integrante.
2009 - 2012
DESENVOLVIMENTO E APLICACAO DO DISPOSITIVO DE EMISSAO POR CAMPO ELETRICO COMPATIVEIS COM TECNOLOGIA DE FABRICACAO DE CIRCUITOS INTEGRADOS.
Descrição: O presente projeto visa o desenvolvimento de matrizes de micropontas de silício de dimensões micrométricas, fabricadas a partir do silício monocristalino, e implementadas em dispositivos de emissão de elétrons (FE). Os dispositivos obtidos, compostos por eletrodos (catodo e anodo) dispostos em configuração discreta como também integrados em um mesmo substrato, serão caracterizados eletricamente e avaliada sua função em microssistemas para detecção e análise de gases, cujo sensoriamento será baseado no princípio de ionização gasosa por impacto de elétrons. As matrizes de micropontas de silício atuarão como emissores de elétrons e serão microusinadas por meio da técnica denominada HI-PS (Hydrogen Implantation - Porous Silicon). A técnica HI-PS é uma combinação de processos de implantação iônica de hidrogênio e de anodização do silício monocristalino para formação de silício poroso em áreas seletivas do semicondutor. A eficiência do processo de emissão de elétrons dependerá da forma geométrica das micropontas, da sua rugosidade superficial, do espaçamento entre os eletrodos (cátodo e anodo) e da função trabalho do material de composição e recobrimento destes emissores. A fabricação de matrizes de micropontas de silício por meio da técnica HI-PS, além de possibilitar a integração dos eletrodos em um mesmo substrato, favorecerá sua associação com outros componentes micromecânicos, além de ser diretamente compatível com processos tecnológicos já consolidados da microeletrônica, viabilizando sua integração com circuitos eletrônicos em um mesmo chip..
Situação: Concluído; Natureza: Pesquisa.


Projetos de desenvolvimento


2002 - 2004
PROCESSO DE FABRICAÇÃO DE MICROELETROMECANISMOS A PARTIR DA TECNOLOGIA DO SILÍCIO POROSO
Descrição: obtenção de regras de projeto que auxiliem na fabricação de microeletromecanismos através do potencial oferecido pelo silício poroso (PS). Serão analisados materiais e técnicas de mascaramento à anodização do PS, visando a sua formação seletiva na superfície do silício (Si). Nesses estudos serão considerados: eficiência de mascaramento, compatibilidade com circuitos integrados e facilidade de processamento nas dependências do Laboratório de Microeletrônica da USP. Membranas e pontes de Si com espessuras variadas entre 0,5 e 2 micrometros serão fabricadas através da utilização do PS como camada sacrificial, caracterizando-se a melhor razão comprimento/largura das referidas geometrias obtidas por meio da técnica aqui proposta..
Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento.


Membro de comitê de assessoramento


2009 - Atual
Agência de fomento: Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo


Revisor de projeto de fomento


2010 - Atual
Agência de fomento: Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo


Áreas de atuação


1.
Grande área: Engenharias / Área: Engenharia Elétrica / Subárea: Materiais Elétricos/Especialidade: Materiais e Componentes Semicondutores.
2.
Grande área: Engenharias / Área: Engenharia Elétrica / Subárea: Microeletrônica/Especialidade: Microfabricação.
3.
Grande área: Engenharias / Área: Engenharia Elétrica / Subárea: Microeletrônica/Especialidade: Sensores.
4.
Grande área: Engenharias / Área: Engenharia Elétrica / Subárea: Dispositivos emissores de campo (field emission devices).


Idiomas


Inglês
Compreende Bem, Fala Bem, Lê Bem, Escreve Bem.
Espanhol
Compreende PoucoLê Pouco.


Prêmios e títulos


2008
2nd melhor trabalho apresentado de forma oral no 6th Congresso Iberoamericano de Sensores & Biosensores, IBERSENSOR.


Produções



Produção bibliográfica
Citações

Web of Science
Total de trabalhos:5
Total de citações:17
Fator H:3
Dantas, Michel O.S.  Data: 11/07/2018

SciELO
Total de trabalhos:3
Total de citações:9
Dantas, M.O.S.  Data: 29/06/2012

SCOPUS

Artigos completos publicados em periódicos

1.
PERES, H. E. M.2018PERES, H. E. M. ; GALEAZZO, E. ; DANTAS, M. O. S. ; Beccaro, W. ; FILBRICH, G. P. ; FERNANDEZ, F. J. R. . Evaluation of the Electrical Resistance Response of Insulating Glass Surface to Sense and Classify Humidity and VOCs Vapors. IEEE SENSORS JOURNAL, v. 18, p. 3940-3945, 2018.

2.
Kopelvski, Maycon M.2016 Kopelvski, Maycon M. ; GALEAZZO, E. ; PERES, H. E. M. ; FERNANDEZ, F. J. R. ; SILVA, D. A. C. ; DANTAS, M. O. S. . Characterization system based on image mapping for field emission devices. Measurement (London. Print), v. 93, p. 208-214, 2016.

3.
GALEAZZO, E.2015GALEAZZO, E. ; MORAES, M. C. ; PERES, H. E. M. ; DANTAS, M. O. S. ; LOBO, V. G. C. ; FERNANDEZ, F. J. R. . MWCNT Devices Fabricated by Dielectrophoresis: Study of Their Electrical Behavior Related to Deposited Nanotube Amount for Gas Sensing Applications. JICS. Journal of Integrated Circuits and Systems (Ed. Português), v. 10, p. 13-20, 2015.

4.
DANTAS, M. O. S.2009DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; Peres, Henrique E. M. ; FERNANDEZ, Francisco Javier Ramirez ; DINIZ, E. C. ; CASTRO, R. R. . Deposition of carbon nanotubes for field emission application. ECS transactions, v. 23, p. 135-141, 2009.

5.
Kopelvsky, M. M.2008Kopelvsky, M. M. ; DANTAS, M. O. S. ; GALEAZZO, Elisabete ; Peres, Henrique E. M. ; Ramirez-Fernandez, Francisco J. . Sistema de caracterização elétrica de dispositivos FE. Revista C & I. Controle & Instrumentação, v. 142, p. 96-101, 2008.

6.
Dantas, Michel O. S.2008 Dantas, Michel O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; Peres, Henrique E. M. ; Kopelvski, Maycon M. ; Ramirez-Fernandez, Francisco J. . Silicon Field-Emission Devices Fabricated Using the Hydrogen Implantation?Porous Silicon (HI?PS) Micromachining Technique. Journal of Microelectromechanical Systems, v. 17, p. 1263-1269, 2008.

7.
DANTAS, M. O. S.;Dantas, Michel O. S.;DANTAS, MICHEL O.S.2007 DANTAS, M. O. S.; Kopelvsky, M. M. ; GALEAZZO, Elisabete ; PERES, Henrique Estanislau Maldonado ; FERNANDEZ, Francisco Javier Ramirez . Silicon Microtips Arrays Fabricated by HI-PS Technique for Application in Field Emission Devices. ECS Transactions, v. 9, p. 481-488, 2007.

8.
DANTAS, M. O. S.;Dantas, Michel O. S.;DANTAS, MICHEL O.S.2004 DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; PERES, Henrique Estanislau Maldonado ; FERNANDEZ, Francisco Javier Ramirez ; ERRACHID, A. . HI-PS technique for MEMS fabrication. Sensors and Actuators. A, Physical, v. 115, n.2-3, p. 608-616, 2004.

9.
DANTAS, M. O. S.;Dantas, Michel O. S.;DANTAS, MICHEL O.S.2003 DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; PERES, Henrique Estanislau Maldonado ; FERNANDEZ, Francisco Javier Ramirez . Silicon micromechanical structures fabricated by electrochemical process. IEEE Sensors Journal, EUA, v. 3, n.6, p. 722-727, 2003.

Trabalhos completos publicados em anais de congressos
1.
SILVA, D. A. C. ; DANTAS, M. O. S. ; GALEAZZO, E. ; Peres, Henrique E. M. ; Ramirez-Fernandez, Francisco J. . Study of Oxidized-Porous Silicon as Insulating Film for HI-PS Field Emission Devices. In: 15th Microelectronics Students Forum (SFORUM / SBMICRO 2015), 2015, Salvador, Ba, Brazil. 15th Microelectronics Students Forum, 2015. p. 1-4.

2.
MORAES, MARCOS C. ; GALEAZZO, Elisabete ; PERES, HENRIQUE E.M. ; DANTAS, MICHEL O.S. ; Ramirez-Fernandez, Francisco J. . Electrical behavior of devices composed by dielectrophoretically deposited carbon nanotubes for gas sensing applications. In: 2014 29th Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro), 2014, Aracaju. 2014 29th Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro). p. 1-4.

3.
Dantas, Michel O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; Peres, Henrique E. M. ; Ramirez-Fernandez, Francisco J. . Field emission enhancement achieved by selective multi-walled carbon nanotubes deposition over silicon microstructures. In: 2014 29th Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro), 2014, Aracaju. 2014 29th Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro). p. 1-4.

4.
MORAES, M. C. ; GALEAZZO, E. ; PERES, H. E. M. ; FERNANDEZ, F. J. R. ; DANTAS, M. O. S. . Development of Fast Response Humidity Sensors Based on Carbon Nanotubes. In: The Fifth International Conference on Sensor Device Technologies and Applications, 2014, Lisboa, Portugal. The Fifth International Conference on Sensor Device Technologies and Applications. New York: IARIA, 2014. p. 7-10.

5.
MORAES, M. C. ; GALEAZZO, E. ; Peres, Henrique E. M. ; DANTAS, M. O. S. . Desenvolvimento de Sensores de Gás Baseados em Nanotubos de Carbono. In: 22 Simpósio Internacional de Iniciação Científica e Tecnológica da USP (SIICUSP 2014), 2014, São Paulo. 22 Simpósio Internacional de Iniciação Científica e Tecnológica da USP (SIICUSP 2014), 2014.

6.
Dantas, Michel O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; Peres, Henrique E. M. ; Ramirez-Fernandez, Francisco J. . Improvement of Si Field Emission Sensors Fabrication Technology by Carbon Nanotubes. In: 14th International Meeting on Chemical Sensors (IMCS 2012), 2012, Nuremberg / Alemanha. Proceedings of 14th International Meeting on Chemical Sensors (IMCS 2012). Wunstorf / Alemanha: AMA Service GmbH, 2012. p. 1005-1008.

7.
DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; Peres, Henrique E. M. ; Peixoto, N. ; Ramirez-Fernandez, Francisco J. . Optimization of Silicon Field Emission Devices by the Addition of Carbon Nanotubes. In: VII Ibero-American Congress on Sensors - Ibersensor 2010, 2010, Lisboa, Pt. Proceedings of VII Ibero-American Congress on Sensors - Ibersensor 2010, 2010.

8.
DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; Peres, Henrique E. M. ; Ramirez-Fernandez, Francisco J. . Silicon Microtips Sharpening Method for Field Emission Applications. In: 6º Congreso Iberoamericano de Sensores (Ibersensor 2008), 2008, São Paulo, Brasil. 6th Congreso Iberoamericano de Sensores & Biosensores, 2008.

9.
Kopelvsky, M. M. ; DANTAS, M. O. S. ; GALEAZZO, Elisabete ; PERES, Henrique Estanislau Maldonado ; FERNANDEZ, Francisco Javier Ramirez . Field Emission Devices Electrical Characteristics Trial System. In: VII Microelectronics Students Forum, 2007, Rio de Janeiro, RJ. VII Microelectronics Students Forum. São Paulo: SBMicro, 2007. p. 137-143.

10.
Ramirez-Fernandez, Francisco J. ; JUSTO, J. F. ; GALEAZZO, Elisabete ; DANTAS, M. O. S. ; Corso, J. ; Peres, Henrique E. M. ; Salcedo, W. ; Peixoto, N. . Integrated sensors: expanding the frontiers of microsystems design for multidisciplinary customers. In: International Conference on Engineering and Education, 2007, Coimbra, Portugal. International Conference on Engineering Education ? ICEE 2007, 2007.

11.
DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; PERES, Henrique Estanislau Maldonado ; FERNANDEZ, Francisco Javier Ramirez . HI-PS Technology Applied on Si Tips Fabrication for Field Emission Devices. In: 5º Congreso Iberoamericano de Sensores (Ibersensor 2006), 2006, Uruguay. 5º Congreso Iberoamericano de Sensores (Ibersensor 2006), 2006.

12.
DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; PERES, Henrique Estanislau Maldonado ; FERNANDEZ, Francisco Javier Ramirez . ELECTROCHEMICAL PROCESS FOR SILICON TIPS FABRICATION. In: 18th Symposium on Microelectronics Technology and Devices, 2003, São Paulo /SP /Brazil. Microelectronics Technology and Devices SBMicro 2003 - ECS. Pennington, NJ, USA: The Electrochemical Society, INC., 2003. v. 2003-9. p. 445-452.

13.
DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; PERES, Henrique Estanislau Maldonado ; FERNANDEZ, Francisco Javier Ramirez . POROUS SILICON PROCESSING FOR ENHANCING THIN SILICON MEMBRANES FABRICATION. In: 18th Symposium on Microelectronics Technology and Devices, 2003, São Paulo / SP/ Brazil. Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2003. Pennington, NJ, USA: Electrochemical Society, INC., 2003. v. 2003-9. p. 406-414.

14.
FERNANDEZ, Francisco Javier Ramirez ; GALEAZZO, Elisabete ; DANTAS, M. O. S. ; PERES, Henrique Estanislau Maldonado ; ERRACHID, A. . Silicon Tips as Tool for Electrical Conductivity Characterization in Liquids. In: 17Th Eurosensors - European Conference on Solid State Transducers, 2003, Guimarães- POR. 17Th Eurosensors - European Conference on Solid State Transducers, 2003.

15.
DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; PERES, Henrique Estanislau Maldonado ; FERNANDEZ, Francisco Javier Ramirez . Silicon Micromechanical Structures Fabricated by Electrochemical Process. In: 1st IEEE Conference on Sensors (IEEE Sensors 2002), 2002, Orlando (EUA). 1st IEEE Conference on Sensors (IEEE Sensors 2002), 2002. v. 1. p. 575-579.

16.
DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; PERES, Henrique Estanislau Maldonado ; FERNANDEZ, Francisco Javier Ramirez . Porous Silicon Sacrificial Layers Applied On Micromechanical Structures Fabrication. In: 17th Symposium on Microelectronics Technology and Devices, 2002, Porto Alegre (RS) / Brazil. Microelectronics Technology and Devices (SBMICRO 2002) ECS. Pennington, NJ, USA: The Electrochemical Society, INC., 2002. v. 2002-8. p. 125-132.

17.
DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; PERES, Henrique Estanislau Maldonado ; FERNANDEZ, Francisco Javier Ramirez . Electrochemical process for MEMS. In: IBERSENSOR'S 2002, 2002, Lima. III Congresso Iberamericano de Sensores y Biosensores, 2002. p. 41-45.

18.
PERES, Henrique Estanislau Maldonado ; GALEAZZO, Elisabete ; DANTAS, M. O. S. ; FERNANDEZ, Francisco Javier Ramirez . Porous silicon masking by silicon oxide and hydrogen ion implantation. In: XVI SBMicro-international conference on microelectronics and Packaging, 2001, Pirenópolis. XVI SBMicro international conference on microelectronics and Packaging (proceedings), 2001. p. 118-121.

Resumos expandidos publicados em anais de congressos
1.
FILBRICH, G. P. ; GALEAZZO, E. ; DANTAS, M. O. S. ; PERES, H. E. M. ; FERNANDEZ, F. J. R. . Measuring Volatile Organic Compounds Through an Interdigital Microsensor. In: X Congresso Iberoamericano de Sensores (Ibersensor 2016), 2016, Valparaíso. X Congresso Iberoamericano de Sensores (Ibersensor 2016), 2016.

2.
NASCIMENTO, J. R. ; DANTAS, M. O. S. ; GALEAZZO, E. ; FERNANDEZ, F. J. R. . Proposal of a Method for Human Activity Recognition Using a Smartphone as Sensing Element. In: X Congresso Iberoamericano de Sensores (Ibersensor 2016), 2016, Valparaíso. X Congresso Iberoamericano de Sensores (Ibersensor 2016), 2016.

3.
DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, E. ; PERES, H. E. M. ; FERNANDEZ, F. J. R. . Towards the Development of Vacuum Pressure Sensor Based on CNT-Si Field Emission Devices. In: VIII Ibero-American Congress on Sensors - Ibersensor 2012, 2012, Carolina, Porto Rico. 8th Ibero-American Congress on Sensors - Ibersensor 2012. New York, USA: Curran Associates, Inc., 2012. v. 421.

4.
DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; PERES, Henrique Estanislau Maldonado ; Kopelvsky, M. M. ; FERNANDEZ, Francisco Javier Ramirez . Novel Si field emission devices fabrication method based on HI-PS technique for gas sensors development. In: 12th International Meeting on Chemical Sensors, 2008, Columbus, Ohio. Extended Abstracts of the Papers Presented at the International Meeting on Chemical Sensors (IMCS-12). Columbus, Ohio, 2008.

5.
DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; FERNANDEZ, Francisco Javier Ramirez ; PERES, Henrique Estanislau Maldonado . Porous silicon micromachining patterned by hidrogen ion implantation. In: I Fórum de estudantes de microeletrônica, 2001, Pirenópolis / GO. I Fórum de estudantes de microeletrônica, 2001.

Resumos publicados em anais de congressos
1.
Kopelvski, Maycon M. ; GALEAZZO, E. ; PERES, H. E. M. ; FERNANDEZ, F. J. R. ; SILVA, D. A. C. ; DANTAS, M. O. S. . Field Emission Devices Characterization System Based on Image Mapping. In: XXXVI Congresso Brasileiro de Aplicações de Vácuo na Indústria e na Ciência (CBRAVIC), 2015, Vitória - ES. XXXVI CBRAVIC / I WTMS - Book of Extended Abstracts, 2015. p. 70-70.

2.
DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; PERES, Henrique Estanislau Maldonado ; FERNANDEZ, Francisco Javier Ramirez . Novel Si field emission devices fabrication method based on HI-PS technique. In: IV SEMINATEC - workshop on semiconductor and micro & nano technology, 2008, São Paulo / SP / Brasil. IV SEMINATEC - workshop on semiconductor and micro & nano technology, 2008. p. 11-11.

3.
DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; Kopelvsky, M. M. ; PERES, Henrique Estanislau Maldonado ; FERNANDEZ, Francisco Javier Ramirez . Silicon Field Emission Devices fabricated by HI-PS technique. In: 6th Brazilian MRS Meeting, 2007, Natal, RN. Abstracts of 6th Brazilian MRS Meeting, 2007.

4.
DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; PERES, Henrique Estanislau Maldonado ; FERNANDEZ, Francisco Javier Ramirez . Improved Thin Silicon Membranes Fabrication by Porous Silicon Processing. In: IV Congresso Iberoamericano de Sensores (Ibersensor 2004), 2004, Puebla, México. Ibersensor, 2004. v. 1. p. 15-15.

5.
GALEAZZO, Elisabete ; DANTAS, M. O. S. ; PERES, Henrique Estanislau Maldonado ; FERNANDEZ, Francisco Javier Ramirez . Si Tips fabricated by electrochemical process. In: II Encontro de Nanodispositivos Semicondutores e Materiais Nanoestruturados, 2003, Natal / RN. Nano Semi Mat - 2, 2003. p. 109-111.

6.
DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; FERNANDEZ, Francisco Javier Ramirez ; PERES, Henrique Estanislau Maldonado . Métodos de mascaramento para obtenção de silício poroso em áreas seletivas. In: terceiro simpósio de iniciação científica e tecnológica, 2001, São Paulo. Boletim técnico da faculdde de tecnologia de São Paulo, 2001. v. BT/11. p. 26-26.

7.
DANTAS, M. O. S.. Obtenção do silício poroso em áreas seletivas para fabricação de microdispositivos. In: 8 simpósio internacional de iniciação científica, 2000, São Carlos / SP. 8 simpósio internacional de iniciação científica, 2000.

Outras produções bibliográficas
1.
DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; PERES, Henrique Estanislau Maldonado . Si Field Emitters Obtained By HI-PS Technology. Campinas / SP: Activity Report 2005 - LNLS, 2005 (artigo).

2.
DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, Elisabete ; PERES, Henrique Estanislau Maldonado ; FERNANDEZ, Francisco Javier Ramirez . silicon tips fabricated by electrochemical process. campinas / SP: lnls- activity report 2003, 2003 (artigo).

3.
DANTAS, M. O. S.. Otimização do processo de obtenção do silício poroso por processo eletroquímico e sua obtenção em áreas seletivas 2000 (monografia).



Bancas



Participação em bancas de trabalhos de conclusão
Mestrado
1.
Capovilla, C.E.; DANTAS, M. O. S.; RODRIGUES, R. J.. Participação em banca de Eduardo Vicente Valdés Cambero. Aplicação de Indutores Ativos Integrados CMOS em Amplificadores de Baixo Ruído. 2017. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica) - Universidade Federal do ABC.

2.
DANTAS, M. O. S.; Suyama, R.; PERES, H. E. M.. Participação em banca de Jonathan Reis Nascimento. Classificação de Movimentos Humanos Utilizando um Smartphone com Auxílio de Inteligencia Artificial. 2017. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica) - Universidade Federal do ABC.

3.
GESUALDI, M. R. R.; DANTAS, M. O. S.; AMBROSIO, L. A.. Participação em banca de Ricardo Fonte Marinheiro. Técnicas de holografia computacional usando moduladores espaciais de luz aplicadas em fotolitografia sem máscaras. 2017. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica) - Universidade Federal do ABC.

4.
DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, E.; Schoenmaker, J.. Participação em banca de Débora Ariana Corrêa da Silva. Otimização da Técnica HI-PS para Obtenção de Dispositivos Integrados de Emissão de Elétrons por Efeito de Campo. 2016. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica) - Universidade Federal do ABC.

5.
GESUALDI, M. R. R.; DANTAS, M. O. S.; RACHED, M. Z.. Participação em banca de Mauricio Nel Bolaños Peña. Estudo e Implementação de Hologramas Gerados por Computador (CGH) em Moduladores Espaciais de Luz (SLM) e as Possibilidades de Implementação via FPGAs. 2016. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica) - Universidade Federal do ABC.

6.
Torres, K.F.A.; DANTAS, M. O. S.; CALIOPE, P. B.. Participação em banca de Michel Antonio Rodini. Estudo de sensores de hidrogênio baseados em nanotubos de TiO2. 2014. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica) - Universidade Federal do ABC.

Teses de doutorado
1.
Correra, F.S.; Pouzada, E.V.S.; DANTAS, M. O. S.; CONSONNI, D.; JUSTO, J. F.. Participação em banca de Wesley Becari. Desenvolvimento de sensores em frequências de micro-ondas para caracterização de etanol combustível. 2017. Tese (Doutorado em Engenharia Elétrica) - Universidade de São Paulo.

2.
DANTAS, M. O. S.; CHAVEZ, M. I. A.; WETTER, N. U.; SANTOS, J. C.; ONMORI, R. K.. Participação em banca de Daniel Orquiza de Carvalho. Desenvolvimento de processos de fabricação de dispositivos ópticos integrados em tecnologia de silício para aplicação em sensoriamento. 2012. Tese (Doutorado em Doutorado em Engenharia Elétrica) - Universidade de São Paulo.

Qualificações de Mestrado
1.
SOUZA, D. C. P.; DANTAS, M. O. S.; RAIMUNDO, D. S.. Participação em banca de Wellington Almeida de Assis Silva. Crescimento de nanofios de ZnO visando aplicações em dispositivos de emissão de elétrons por efeito de campo. 2018. Exame de qualificação (Mestrando em Engenharia Elétrica) - Universidade Federal do ABC.

2.
GESUALDI, M. R. R.; DANTAS, M. O. S.; FRESCHI, A. A.. Participação em banca de Mauricio Nel Bolaños Peña. Estudo de Hologramas Gerados por Computador (CGH) em Moduladores Espaciais de Luz (SLM) e sua Implementação via FPGAs. 2016. Exame de qualificação (Mestrando em Engenharia Elétrica) - Universidade Federal do ABC.

3.
Capovilla, C.E.; DANTAS, M. O. S.; Casella, I.R.S.. Participação em banca de Eduardo Vicente Valdés Cambero. Indutores Ativos Integrados CMOS aplicados a projetos de amplificadores de baixo ruido. 2016. Exame de qualificação (Mestrando em Engenharia Elétrica) - Universidade Federal do ABC.

4.
GESUALDI, M. R. R.; DANTAS, M. O. S.; SOUZA, D. C. P.. Participação em banca de Ricardo Fonte Marinheiro. Moduladores Espaciais de Luz (SLMs) Aplicados à Fotolitografia sem Máscara. 2016. Exame de qualificação (Mestrando em Engenharia Elétrica) - Universidade Federal do ABC.

5.
DANTAS, M. O. S.; Suyama, R.; Casella, I.R.S.. Participação em banca de Jonathan Reis Nascimento. Análise e Classificação de Movimentos Humanos Utilizando Sensores Inerciais e Magnetômetyro de um Smartphone com Auxílio de Inteligencia Artificial. 2016. Exame de qualificação (Mestrando em Engenharia Elétrica) - Universidade Federal do ABC.

6.
DANTAS, M. O. S.; SOUZA, D. C. P.; Schoenmaker, J.. Participação em banca de Débora Ariana Corrê a da Silva. Otimização da Técnica HI-PS para obtenção de Dispositivos Integrados de Emissão de Elétrons por Efeito de Campo. 2015. Exame de qualificação (Mestrando em Engenharia Elétrica) - Universidade Federal do ABC.

7.
Torres, K.F.A.; DANTAS, M. O. S.; RAIMUNDO, D. S.. Participação em banca de Michel Antonio Rodini. Estudo de sensores de hidrogênio baseados em nanotubos de TiO2. 2014. Exame de qualificação (Mestrando em Engenharia Elétrica) - Universidade Federal do ABC.

8.
PEROTONI, M. B.; SGUAREZI FILHO, A. J.; DANTAS, M. O. S.. Participação em banca de Daniel Alves Zacarias. Leitura remota da temperatura em container refrigerado. 2014. Exame de qualificação (Mestrando em Engenharia Elétrica) - Universidade Federal do ABC.

Trabalhos de conclusão de curso de graduação
1.
Peres, Henrique E. M.; DANTAS, M. O. S.; GALEAZZO, Elisabete. Participação em banca de André Bandeira da Fonseca Martinez.Tecnologo em Materiais, Processos e Componentes Eletrônicos. 2009. Trabalho de Conclusão de Curso (Graduação em Materiais Processos e Componentes Eletrônicos) - Faculdade de Tecnologia de São Paulo.



Participação em bancas de comissões julgadoras
Concurso público
1.
DANTAS, M. O. S.; FONSECA, F. J.; Mazon, T.. Concurso Público para Contratação de docente ensino superior. 2012. Universidade Federal do ABC.



Eventos



Participação em eventos, congressos, exposições e feiras
1.
14th International Meeting on Chemical Sensors.Improvement of Si Field Emission Sensors Fabrication Technology by Carbon Nanotubes. 2012. (Encontro).

2.
24th Symposium On Microelectronics, Technology and Devices.Deposition of carbon nanotubes for field emission application. 2009. (Simpósio).

3.
6º Congreso Iberoamericano de Sensores (Ibersensor 2008). Silicon Microtips Sharpening Method for Field Emission Applications. 2008. (Congresso).

4.
IV SEMINATEC - workshop on semiconductor and micro & nano technology.Novel Si field emission devices fabrication method based on HI-PS technique. 2008. (Seminário).

5.
22nd Symposium on Microelectronics Technology and Devices.Silicon Microtips Arrays Fabricated by HI-PS Technique for Application in Field Emission Devices. 2007. (Simpósio).

6.
6th Brazilian MRS Meeting.Silicon Field Emission Devices fabricated by HI-PS Technique. 2007. (Encontro).

7.
5º Congreso Iberoamericano de Sensores (Ibersensor 2006). HI-PS Technology Applied on Si Tips Fabrication for Field Emission Devices. 2006. (Congresso).

8.
Microsistemas y sensores: fabricación, caracterización y aplicación a muestras medioambientales. 2006. (Oficina).

9.
IV congresso iberoamericano de sensores (IBERSENSOR 2004). Improved Thin Silicon Membranes Fabrication by Porous Silicon Processing. 2004. (Congresso).

10.
Workshop sobre tecnologias Top-Down: possibilidades e desafios. 2004. (Seminário).

11.
18th Symposium on Microelectronics Technology and Devices.POROUS SILICON PROCESSING FOR ENHANCING THIN SILICON MEMBRANES FABRICATION. 2003. (Simpósio).

12.
Workshop sobre tecnologias para microssistemas e sensores. 2003. (Seminário).

13.
17th Symposium on Microelectronics Technology and Devices.Porous Silicon Sacrificial Layers Applied On Micromechanical Structures Fabrication. 2002. (Simpósio).

14.
I Fórum de estudantes de microeletrônica.Porous silicon micromachining patterned by hidrogen ion implantation. 2001. (Outra).

15.
III Simpósio de Iniciação Científica e Tecnológica da Faculdade de Tecnologia de São Paulo.Métodos de mascaramento para obtenção de silício poroso em áreas seletivas. 2001. (Simpósio).

16.
8 simpósio internacional de iniciação científica.Obtenção do silício poroso em áreas seletivas para fabricação de microdispositivos. 2000. (Simpósio).



Orientações



Orientações e supervisões em andamento
Trabalho de conclusão de curso de graduação
1.
Rodrigo Alberto Domingos Donizetti. Mini Geladeira com Pastilha Peltier e Controle de Temperatura PID com PWM. Início: 2018. Trabalho de Conclusão de Curso (Graduação em Engenharia de Instrumentação, Automação e Robótica) - Universidade Federal do ABC. (Orientador).

2.
Luiz Fernando Mafra Mendes Freitas Santos. Sensores para Identificação de Água e Contaminantes Biológicos em Combustíveis. Início: 2018. Trabalho de Conclusão de Curso (Graduação em Engenharia de Instrumentação, Automação e Robótica) - Universidade Federal do ABC. (Orientador).


Orientações e supervisões concluídas
Dissertação de mestrado
1.
Jonathan Reis Nacimento. Classificação de Movimentos Humanos Utilizando um Smartphone com Auxílio de Inteligencia Artificial. 2017. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica) - Universidade Federal do ABC, . Orientador: Michel Oliveira da Silva Dantas.

2.
Débora Ariana Corrêa da Silva. OTIMIZAÇÃO DA TÉCNICA HI-PS PARA OBTENÇÃO DE DISPOSITIVOS INTEGRADOS DE EMISSÃO DE ELÉTRONS POR EFEITO DE CAMPO. 2016. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica) - Universidade Federal do ABC, Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior. Orientador: Michel Oliveira da Silva Dantas.

Trabalho de conclusão de curso de graduação
1.
Eliézer Benante do Valle. Sensor Optico para Detecção de GLP. 2016. Trabalho de Conclusão de Curso. (Graduação em Engenharia de Instrumentação, Automação e Robótica) - Universidade Federal do ABC. Orientador: Michel Oliveira da Silva Dantas.

Orientações de outra natureza
1.
Bruno Rivetti Zabeu. Estágio Supervisionado. 2014. Orientação de outra natureza. (Engenharia de Instrumentação, Automação e Robótica) - Universidade Federal do ABC. Orientador: Michel Oliveira da Silva Dantas.

2.
Bruno Stacco Oliva. Estagio supervisionado obrigatório. 2013. Orientação de outra natureza. (Engenharia de Instrumentação, Automação e Robótica) - Universidade Federal do ABC. Orientador: Michel Oliveira da Silva Dantas.

3.
Leandro Pereira dos Santos. Supervisão de estágio. 2013. Orientação de outra natureza. (Ciência e Tecnologia) - Universidade Federal do ABC. Orientador: Michel Oliveira da Silva Dantas.




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